一、純水供應一般規定
1. 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統的選擇,應根據原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求,并結合系統規模、材料及設備供應等情況,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。
2. 純水的輸送干管應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。
3. 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管,套管與管道之間應采取密封措施。
4. 潔凈室(區)內純水管道的保溫材料,不得產(chǎn)生污染物,外表面應平整、光滑、易于清潔。
二、純水系統設計要求
1. 純水系統的設備配置除應滿(mǎn)足所需水量和水質(zhì)的要求外,還應滿(mǎn)足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。
2. 純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應符合下列規定:
(1) 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿(mǎn)足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;
(2)純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇,應確保水質(zhì)污染少、密封性好,不得有滲氣現象;
(3)純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質(zhì)降低。
3. 純水系統應采用循環(huán)供水方式,宜采用單管式循環(huán)供水系統或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統,并應符合下列規定:
(1) 循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30%;
(2)干管流速應大于等于1.5m/s;
(3)不循環(huán)支管的長(cháng)度不應大于管徑的6倍;
(4)干管應設置清洗口;
(5)管道系統必須密封,不得有滲氣現象;
(6)應配備在線(xiàn)水質(zhì)檢測儀表;
(7)對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝,應采用雙管式循環(huán)供水系統。
4. 純水系統中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。
5. 用于純水系統的水質(zhì)檢測設備、量具、儀表,其連接不應使純水水質(zhì)降低,其檢測范圍和精度應符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。
6. 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設備設置。
三、管材、閥門(mén)和附件選用要求
1. 純水系統管道材質(zhì)的選用,應符合下列要求:
(1)應滿(mǎn)足純水水質(zhì)指標的要求;
(2)材料的化學(xué)穩定性應好;
(3)管道內壁光潔度應好;
(4)不得有滲氣現象。
2.純水管道的閥門(mén)和附件的選用應符合下列規定:
(1)應選擇與管道相同的材質(zhì);
(2)應選用密封好、結構合理、無(wú)滲氣現象的閥門(mén);
(3)對純水的水質(zhì)要求嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統,應采用隔膜閥。