電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房氣體供應設計一般規定如下:
1. 潔凈廠(chǎng)房?jì)葢鶕a(chǎn)的需求使用各種不同類(lèi)型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質(zhì)應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。
2. 常用氣體的供氣方式和供氣系統,應根據氣體用量、氣體品質(zhì)和當地的供氣狀況等因素,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。
3. 潔凈廠(chǎng)房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統,除應符合本規范外,還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016、《氫氣站設計規范》GB 50177和《氧氣站設計規范》GB 50030等的有關(guān)規定。
4. 潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊臍怏w管道的干管,應敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內。當與水、電管線(xiàn)共架時(shí),比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線(xiàn)下部,比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線(xiàn)上部。
5. 潔凈室(區)內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷,穿過(guò)潔凈室(區)的墻壁或樓板處的管段應設置套管,套管內的管道不得有焊縫,套管與管道之間應采取密封措施。
6. 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類(lèi)氣體的房間;當必須穿過(guò)時(shí)應設套管或雙層管。
7. 高純氣體管道設計應符合下列規定:
(1) 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設備確定,管外徑不宜小于6mm,壁厚不宜小于1mm,
(2)不得出現不易吹除的“盲管”等死空間,
(3)管道系統應設置吹掃口和取樣口。
8. 潔凈廠(chǎng)房的可燃氣體管道系統應設置下列安全設施:
(1)可燃氣體管道設置閥門(mén)時(shí)應設置閥門(mén)箱,閥門(mén)箱應設置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝置,報警裝置應與相應的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖;
(2)接至用氣設備的支管和放散管,宜設置阻火設施;
(3)引至室外的放散管,應設置防雷保護設施,
(4)應設置導除靜電的接地設施。
9. 氣體過(guò)濾器應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置。終端氣體過(guò)濾器應設置在靠近用氣點(diǎn)處。