電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房常用氣體系統設計要求如下:
1.常用氣體供應系統宜在工廠(chǎng)內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。
2. 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外,應高出本建筑的屋脊1m,并應采取防雨、防雜物侵人的措施。
3. 氣體純化裝置的設置,應符合下列要求:
(1)氣體純化裝置應根據氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;
(2)氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠(chǎng)房設有氣體人口室時(shí),氣體純化間宜與氣體入口室合建;
(3)各類(lèi)氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時(shí),也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;
(4)氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點(diǎn)處。
4. 進(jìn)入潔凈廠(chǎng)房的氣體管道控制閥門(mén)、氣體過(guò)濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線(xiàn)分析儀等,宜集中設置在氣體入口室。
5. 氣體純化間(站)或氣體入口室內,設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時(shí),氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類(lèi)確定,并應符合下列規定:
(1) 應靠外墻設置,并應設置防爆泄壓設施;
(2) 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動(dòng)切斷閥;
(3) 應具有良好的自然通風(fēng),并應設置事故排風(fēng)裝置;
(4) 應設置氣體泄漏報警裝置,并應與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖;
(5) 應設置導除靜電的接地設施。
6. 潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊难鯕夤艿赖?,應采取下列安全技術(shù)措施:
(1) 管道及閥門(mén)、附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理;
(2) 應設置導除靜電的接地設施;
(3) 氧氣引入管道上應設置自動(dòng)切斷閥。
7. 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠(chǎng)房外。當日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí),氣瓶可設置在潔凈室(區)內,但應采取不積塵和易于清潔的措施。
8. 氣體管道和閥門(mén)應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇,宜符合下列規定:
(1) 氣體純度大于或等于99999999%時(shí),應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管,閥門(mén)應采用隔膜閥;
(2) 氣體純度大于或等于99.999%、露點(diǎn)低于-76℃時(shí),宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管,閥門(mén)宜采用隔膜閥或波紋管閥;
(3)氣體純度大于或等于99.99%、露點(diǎn)低于-60℃時(shí),宜采用內壁拋光的不銹鋼管,除可燃氣體管道 宜采用波紋管閥外,其余氣體管道宜采用球閥;
(4)氣體管道閥門(mén)、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。
9. 氣體管道連接,應符合下列規定:
(1) 管道連接應采用焊接,
(2) 不銹鋼管應采用氬弧焊,宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔融對接焊;
(3) 管道與設備或閥門(mén)的連接,宜采用表面密封的接頭或雙卡套,接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;
(4) 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時(shí),宜采用金屬軟管。