電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房特種氣體系統設計要求如下:
1. 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應,在電子工廠(chǎng)內應設置儲存、分配系統。
2. 潔凈廠(chǎng)房?jì)忍胤N氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區)分隔,隔墻上的門(mén)窗應為甲級防火門(mén)窗。
3. 潔凈室(區)內可燃或有毒的特種氣體分配系統的設置,應符合下列規定:
(1)特種氣體鋼(含硅烷或硅烷混合物)應設置在具有連續機械排風(fēng)的特氣柜中;
(2) 排風(fēng)機、泄漏報警、自動(dòng)切斷閥均應設置應急電源;
(3) 一個(gè)特氣分配系統供多臺生產(chǎn)設備使用時(shí),應設置多路閥門(mén)箱;
(4) 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合《GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》第10.1和10.2節的有關(guān)規定。
4. 特種氣體分配系統應設置吹掃盤(pán),并應符合下列規定:
(1) 應設置應急切斷裝置;
(2) 應設置過(guò)流量控制裝置,
(3) 應設置手動(dòng)隔離閥;
(4) 吹掃氣源宜采用常用氣體系統;
(5) 不相容特種氣體的吹掃盤(pán)不得共用吹掃氣瓶。
5. 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠(chǎng)房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定:
(1) 儲存區應至少三面敞開(kāi),氣瓶應固定在鋼制框架上;
(2) 氣瓶或氣瓶組與周?chē)臉嬛锘驀鷻诘拈g距應大于3.0m;
(3) 儲存區頂棚的高度應大于3.5m。