潔凈廠房高純氣體輸配金屬管道安裝連接要求如下:
(1)用于輸送高純氣體的金屬管道的材質主要有:
1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈度氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。
2)銅管。在半導體企業中,個別生產工藝如砷化鎵的操作,為了防止產生器件電阻,不允許使用銅質管路及其附件,只能使用不銹鋼材料。
3)熱鍍鋅無縫鋼管。有資料介紹,潔凈室的管道不得采用鍍鋅鋼管。
(2)連接方式
1)焊接
高純、高潔凈度氣體管道,原則上采用焊接,但防止直接對焊,應采用套管接頭,如圖1。
圖1 管套的正確安裝
不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊,同時管內通入同等純度的氬氣,防止焊接部位氧化。
銅管的焊接:采用40%的銀焊條,采用氮氣保護焊,管內通入與工藝氣體同等純度的氮氣。但要注意,一旦氮氣中斷或氮氣純度下降,會在焊口附近生成銅的氧化物,產生浸潤表面的可能性。所以,當銅管焊接完畢后,要用浸漬丙酮的紗布來回擦拭管內,消除焊接處可能產生的氧化物。
鍍鋅鋼管的焊接:鍍鋅鋼管的焊接會破壞鍍鋅層,鍍鋅后如實施補鍍鋅,實際操作艱難,同時極易加速該處的腐蝕,因此潔凈室內管道不得使用鍍鋅鋼管。
2)螺紋連接
螺紋連接的氣密性不如焊接的好,不適用于高純、高潔凈度氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘渣有帶入氣體的危險,而且,內外螺紋旋緊時,金屬間的摩擦,會產生金屬粉塵粒子,污染氣體。如確實必要,應在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時,在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊錫,提高密封效果、盡可能減少金屬粉塵。
3)法蘭連接
螺紋或法蘭連接處的密封材料應采用聚四氟乙烯,為確保密封效果,在墊片上涂敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。
(3) 管路附件的使用
1) 管路附件的材質的選用應與管材的選用原則一致。
2)在采用銅材的管路系統中,可以使用不銹鋼材質的管道的附件;反之,不銹鋼材質的管路系統中,不容許使用銅質材料的管道附件。